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- 更新日期: 2024-12-18

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Qtime管控(Queue Time Control)是半导体制造过程中一个重要的和效率管理环节,尤其在刻蚀工艺(ETCH)中显得尤为重要。 一、Qtime的定义和重要性 Qtime(Queue Time)即“排队时间”,是指在生产流程中,某一工序或设备在接收到任务后,等待处理的时间。具体来说,Qtime是指晶圆在一个工序的前一工序完成到该工序开始的时间间隔。在刻蚀工艺中,Qtime主要是指晶圆在不同的刻蚀步骤之间的等待时间,或者从晶圆进入刻蚀机到开始刻蚀的时间。 Qtime的管控至关重