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ASML、NIKON、CANON光刻机型号参数汇总

发布时间:2024-08-09作者来源:澳门新葡萄新京威尼斯987浏览:2322

之前,我发布了一个ASML光刻机的型号参数的汇总列表。看起来大家对这个数据非常感兴趣,实际的阅读量远超我最初的预估
既然如此,那我就多发布一些数据吧。这次,我干脆把全球前道光刻机供应商御三家:ASML、NIKON、CANON的全部数据都一次性发布出来,供大家参考吧
老粉丝应该或许还记得我以前也发布过这个数据。不过这次,我又增加了不少新的数据:
ASML:增加了[敏感词]NA值 .55得TWINSCAN EXE;增加了若干老机型的数据(部分数据参考了公众号:TOM聊芯片智造,特此感谢)
NIKON:增加[敏感词]的NSR S636E等两三款型号
CANON:增加FPA Stepper机型若干
基本上,这个表格大体囊括了市面上主流的光刻机数据了,值得大家参考和收藏(限于我个人能力,很可能还有个别遗漏的,也麻烦大家给我留言提醒,谢谢了)
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