首先，要和大家说声抱歉：之前我发布的离子注入设备供应商数据里被行业朋友指出不少错误，有可能对其他人产生误导，所以我总结多个来源的反馈，重新整理了这个表格，供大家参考

其实半导体用离子注入设备的应用细分还有很多。比如：

    低能大束流里还分重金属、超低温和标准等多种机型；

    用于SiC器件制造的高温注入设备其实也分大束流、中束流、高能这几种；

    另外，注入设备在SOI衬底制造中还有注氢注氧等特殊细分应用

这些信息由于过于详细，我暂时还无法一一细致整理，希望以后有机会梳理后再和大家分享探讨

注）表内SHELLBACK就是原来的OEM GROUP

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