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发布时间:2022-03-17作者来源:澳门新葡萄新京威尼斯987浏览:3296
导 读
Suny Li ~1
首先,我们想请Swan院士谈一谈 Intel 在先进封装技术领域的研发规划和 [敏感词]的研究成果。Johanna Swan ~1
好的 ,我首先给大家分享 Intel 先进封装技术路线图,图中 X 轴代表功率效率, Y 轴代表互连密度,Z 轴则展示了我们的技术可扩展性。
从标准封装,到嵌入式多芯片互联桥EMIB,更多的芯片被包含到封装中,凸点间距也越来越小,从100um变为55-36um。
然后,到 Foveros,开始将芯片堆叠在一起,进行横向和纵向之间的互连,凸点间距进一步降低为50-25um。
下一步,Intel 要做小于10um的凸点间距。 达到小于 10 微米的凸点间距意味着什么?这就要说到 Intel 的混合键合技术Hybrid Bonding。
在今年 ECTC 上 Intel 发表了一篇关于混合键合技术的论文,这是一种在相互堆叠的芯片之间获得更密集互连的方法,并可实现更小的外形尺寸。下图左边的技术,被称为 Foveros,凸点间距是 50 微米,每平方毫米有大约 400 个凸点。对于未来, Intel 要做的是缩减到大约 10 微米的凸点间距,并达到每平方毫米 10,000 个凸点。
Hybrid Bonding 技术可以在芯片之间实现更多的互连,并带来更低的电容,降低每个通道的功率,并让我们朝着提供[敏感词]产品的方向发展。
下图是传统凸点焊接技术和Hybrid Bonding 混合键合技术的比较,混合键合技术需要新的制造、操作、清洁和测试方法。混合键合技术的优势包括:有更高的电流负载能力,可扩展的间距小于1微米,并且具有更好的热性能。
从图中我们可以看出,传统凸点焊接技术两个芯片中间是带焊料的铜柱,将它们附着在一起进行回流焊,然后进行底部填充胶。 Hybrid Bonding 混合键合技术与传统的凸点焊接技术不同, 混合键合技术没有突出的凸点,特别制造的电介质表面非常光滑,实际上还会有一个略微的凹陷。在室温将两个芯片附着在一起,再升高温度并对它们进行退火,铜这时会膨胀,并牢固地键合在一起,从而形成电气连接。 混合键合技术可以将互联间距缩小到10 微米以下,可获得更高的载流能力,更紧密的铜互联密度,并获得比底部填充胶更好的热性能。当然, 混合键合技术 需要新的制造、清洁和测试方法。 为什么更小的间距会更有吸引力? Intel 正在转向Chiplet的设计思路,开始将SoC分解成 GPU、CPU、IO 芯片,然后通过SiP技术将它们集成在一个封装内;然后,通过Chiplet技术,更小的区块拥有单独的 IP,并且可以重复使用,这是一种非常优秀的技术,可根据特定客户的独特需求定制产品。
Chiplet 技术改变了芯片到芯片的互联, 更多的芯片间互联需要更高的互联密度,因此需要从传统的凸点焊接转向混合键合。
此外,我们面对另一个挑战,就是如何将这些芯片组装到一起,并保持制造流程以相同的速度进行。现在有更多的芯片需要放置,能否在一次只放置一个芯片的基础上以足够快的速度加工?解决方案是批量组装,我们称之为自组装Self-Assembly技术。
Intel 正在积极与法国原子能委员会电子与信息技术实验室 CEA-LETI 合作,研究一次能够放置多个芯片,同时进行确定性快速放置,拾取并放置更多芯片。自组装过程中,芯片能够将自身恢复到[敏感词]能量状态,你只需要让它足够接近,到[敏感词]限度的能量状态会自己组装、放置到位,是一种自组装机制。这是 Intel 与 CEA-LETI 一起进行的研究。 我们已经将混合键合、自组装技术添加到先进封装技术的 Roadmap 中。
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