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发布时间：2023-03-22作者来源：光刻人的世界浏览：1673
韩国三星电子公司是总部位于荷兰的 ASML Holding NV 的“苛刻客户”，因为它正在增加荷兰公司的极紫外 (EUV) 光刻系统的订单，ASML 的高级执行官表示。
这家全球[敏感词]大内存芯片制造商是该公司 EUV 光刻机的五个客户之一，EUV 扫描仪是制造更小、更密集的半导体芯片的关键。ASML 是全球[敏感词]的 EUV 光刻系统制造商。
“三星是一个要求很高的客户，我们感谢他们的反馈，因为他们让我们成为一家更好的公司，”ASML 的首席财务官 Roger Dassen 在最近的一次采访中告诉韩国经济日报。
尽管利率上升、通货膨胀和经济不景气，但 ASML 今年开局良好，积压订单达 404 亿欧元（430 亿美元）。
今年，它计划出货约 60 个 EUV 系统。此前，它每年生产约 40 台。生产一台 EUV 扫描仪大约需要两年时间，而每台设备的成本为 1.5 亿至 2 亿美元。
EUV 扫描仪可以在半导体晶圆上绘制出最精细、最详细的图案。光刻机还通过减少创建精细电路所需的光刻工艺数量来简化芯片制造工艺。
ASML 正在华城建设维修和再利用开发中心，以及一个大型培训中心，韩国，以更好地服务三星和SK海力士公司——全球[敏感词]的两家存储芯片制造商。
这些设施将成为其韩国运营商的总部。三星电子在该市经营半导体工厂。
当被问及将该工厂扩展为制造基地的任何可能性时，Dassen说：“目前，我们没有在韩国制造光刻系统的具体计划。”
以下是与罗杰·达森 (Roger Dassen) 的问答经过编辑的文字记录：
Q
您预计 EUV 系统的竞争会持续多久？
A
“我们有五个 EUV 系统客户......由于需求强劲，我们正在提高 EUV 系统的产能。”
“正如我们在今年 1 月的 2022 财年第四季度财务业绩演示中宣布的那样，我们计划在 2023 年出货约 60 个 EUV 系统（以及约 375 个 DUV 系统）。”
“在去年 11 月的投资者日期间，我们确认了到 2025-2026 年 600 个 DUV（深紫外）、90 个 EUV 系统和到 2027-2028 年 20 个 EUV 高 NA 系统的产能计划。
“因此，我们正在大幅扩大产能以满足需求。”
Q
半导体制造设备市场的潜在威胁是什么？
A
“展望 2023 年，由于对通胀、利率上升、经济衰退和地缘政治环境（包括出口管制）的一系列全球宏观担忧，市场仍存在很多不确定性。”
“客户仍然看到消费者驱动的终端市场需求疲软，最显著的是 PC 和智能手机，数据中心需求的一些迹象显示疲软或增长率下降，而汽车和工业等其他终端市场的需求依然强劲。”
“但总的来说，对我们系统的需求仍然强劲。今年，需求仍然超过我们的产能，我们以 404 亿欧元的积压进入了这一年，因此我们的重点仍将放在[敏感词]化系统输出上。”
“我们已经经历了几个季度非常强劲的预订，现在积压覆盖范围大大超过 2023 年，这几乎是 2023 年预期系统销售额的两倍。”
Q
计划于 2024 年推出的高 NA（数值孔径）EUV 系统的开发有何进展？
A
“我们所有的 EUV 客户都为 High-NA 下了订单。我们正在与所有客户密切合作，支持他们将新技术引入他们的晶圆厂。”
Q
在韩国完成维修和再利用开发中心后，是否计划在韩国建立制造工厂？
A
“目前，我们没有在韩国制造光刻系统的具体计划。”
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